| 產(chǎn)品型號(hào) | PEGZ-2L2L-SA8 |
| 產(chǎn)品名稱 | |
| 生產(chǎn)工藝 | 在線管式PECVD裝卸片機(jī) |
| 設(shè)備功能 | 將經(jīng)過管式PECVD工藝處理后 的石墨舟內(nèi)的硅片自動(dòng)化取 出裝籃，并將沒經(jīng)過工藝處 理的硅片自動(dòng)化裝入石墨舟。 |
| 適用硅片 | |
| 單晶/多晶 | 兼容 |
| 外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
| 厚度 | 160μm-220μm |
| 工裝 | 花籃-石墨舟-舟托-主設(shè)備布局 |
| 硅片堆疊盒 | 花籃下料無堆疊盒，堆疊下料 時(shí)為江松自制堆疊盒 |
| 設(shè)備運(yùn)行能力 | |
| 實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能（凈產(chǎn)能） | ≥4500片/小時(shí)(26片以上舟片的石墨舟，所有的產(chǎn)能都基于 主設(shè)備的產(chǎn)能，主設(shè)備的產(chǎn)能不 足則以主設(shè)備的產(chǎn)能為準(zhǔn)） |
| 正常運(yùn)行時(shí)間（up time） | 98% |
| 平均故障時(shí)間（MTBF） | MTBF≥300小時(shí) |
| 平均故障修復(fù)時(shí)間（MTTR） | MTTR≤2小時(shí) |
| 碎片率 | ≤0.08% （單晶A類片，不含主機(jī)碎片） |
| 動(dòng)力要求 | |
| 電源 | 8KW? 史陶比爾：380V三相五線制50HZ??? ABB：220V? 50HZ |
| 壓縮空氣 | 壓力：06Mpa? 流量：500L/Min? 接口:Ф16軟管 |
| 環(huán)境 | |
| 溫度/濕度 | 0~35°C? 40%~60% |
| 潔凈度 | 符合十萬級(jí)潔凈區(qū)相關(guān)規(guī)范要求 |
| 噪音 | ≤60db |
| 設(shè)備結(jié)構(gòu) | |
| 整機(jī)重量(單位：噸) | 5 |
| 外形尺寸（mm） | 長(zhǎng)7300寬2350高2100（參考） |
| 設(shè)備操作方位 | 可左可右 |
| 硅片通道數(shù)量 | 4 |
| 硅片通道間距 | 上料間距322mm下料間322mm |
| 對(duì)接處花籃離地高 | 下層450mm上層1160mm |
Su Gong An 32021402000985