| 產(chǎn)品型號 | KTZ-D2-F3B50 |
| 產(chǎn)品名稱 | 石英舟裝卸片機（在線式一拖二） |
| 生產(chǎn)工藝 | 在線式，擴散（退火）工藝，石英舟裝卸片機 |
| 設(shè)備功能 |
將經(jīng)過工藝處理后的石英舟內(nèi)的硅片自動化取出裝籃， 并將沒經(jīng)過工藝處理的硅片自動化從花籃中取出裝入石英舟 |
| 適用硅片 | |
| 單晶/多晶 | 單晶多晶兼容 |
| 外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
| 厚度 | 160μm-220μm |
| 工裝 | |
| 石英舟工裝 | 可定制 |
| 花籃工裝 | 4.76×100槽或4.76×50槽，其他也可根據(jù)石英舟定制。 |
| 設(shè)備運行能力 | |
| 實際運行產(chǎn)能（凈產(chǎn)能） | ≥8500片/小時 |
| 正常運行時間（up time） | ≥98% |
| 平均故障時間（MTBF） | MTBF≤500小時 |
| 平均故障修復(fù)時間（MTTR） | MTTR≥1小時 |
| 碎片率 | ≤0.03% ，A片（不含爐內(nèi)碎、不含本身隱裂、線痕等缺陷片） |
| 動力要求 | |
| 電源 | AC220V，50HZ |
| 功率 | 8KW |
| 壓縮空氣 | 0.6MPA，主氣路管道直徑≥20mm，連接氣管直徑≥12mm |
| 環(huán)境 | |
| 溫度/濕度 | 0-35℃，40%-60% |
| 潔凈度 | 符合十萬級潔凈區(qū)規(guī)范要求 |
| 噪音 | ≤60db |
| 設(shè)備結(jié)構(gòu) | |
| 整機重量 | 6500KG |
| 外形尺寸（mm） | 長×寬×高（4360mm×4600mm×2400mm） |
| 設(shè)備操作方位 | 面向龍門架，觸摸屏在左側(cè)是左手機，觸摸屏在右側(cè)是右手機 |
| 花籃工位 | 四工位 |
| 石英舟工位 | 雙工位 |
| 花籃裝卸方式 |
人工裝卸：人工裝卸時，手工直接將花籃放置于花籃工作臺。 花籃進出動作可同時進行。 |
| 石英舟裝卸方式 | 機械手自動裝卸 |
Su Gong An 32021402000985